Վակուումային կարբյուրացումն այն է, որ աշխատանքային մասը վակուումում տաքացվի:Երբ այն հասնի կրիտիկական կետից բարձր ջերմաստիճանի, այն որոշ ժամանակ կմնա, գազազերծվի և կհեռացնի օքսիդի թաղանթը, այնուհետև կանցնի մաքրված ածխաջրող գազի մեջ՝ կարբյուրացման և դիֆուզիայի համար:Վակուումային կարբյուրացման կարբյուրացման ջերմաստիճանը բարձր է՝ մինչև 1030 ℃, իսկ կարբյուրացման արագությունը՝ արագ:Կարբյուրացված մասերի մակերևութային ակտիվությունը բարելավվում է գազազերծման և դեօքսիդացման միջոցով:Հետագա դիֆուզիայի արագությունը չափազանց բարձր է:Կարբյուրիզացումը և դիֆուզիոն իրականացվում են բազմիցս և հերթափոխով մինչև մակերեսի պահանջվող կոնցենտրացիան և խորությունը հասնելը:
Վակուումային կարբյուրացման խորությունը և մակերեսի կոնցենտրացիան կարելի է վերահսկել.Այն կարող է փոխել մետաղական մասերի մակերեսային շերտի մետալուրգիական հատկությունները, և դրա արդյունավետ կարբյուրացման խորությունը ավելի խորն է, քան այլ մեթոդների իրական կարբյուրացման խորությունը: